檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "indium".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="真空濺鍍"
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近年來,研究人員紛紛投入CIGSe太陽能薄膜電池真空製程的研究中,而真空製備的方法眾多,主要分為蒸鍍與濺鍍製程,本實驗使用真空濺鍍製程當作主要製程。目前高效率的製程多屬於共蒸鍍系統,最高可達到20%…